PK86X-DD
PK86X-DD
PK86X-DD
PK86X-DD
PK86X-DD
底部出线高纯开关量压力变送器
产品描述
PK86X-DD系列三合一高纯压力计专门设计用于满足半导体、液晶面板LED、高纯/超纯环境、特殊气体管道等应用。产品设计底部出线方式,适配不同的设计方案,压力范围覆盖0.....100psi,且量程可以任选;产品生产100%泄露测试,避免易燃易爆、腐蚀或有毒介质溢出风险;全程在百级洁净室生产并真空包装,同时100%清洗,满足SEMI标准需求。
技术规格
应用场合
半导体生产气体用
测量量程
0.....100psiA
精度
+0.5%FS +1digit
过载压力
最大4倍
介质温度
-40....125°C
环境温度
-20....85°C
平均温度系数
<0.025%FS/℃ +1digit
供电电压
DC24V ±10%
输出信号
0-5V
开关点
NPN 数量2
显示
LED显示,表盘可270℃旋转
出线
健边出线 D-SUB 15PIN(Male)
连接材质
316L VIM/VAR
膜片材质
哈氏合金(C-22)
稳定性能
典型值:0.25%FS/Year
泄需率
≤1X10-10Pa.m³/s
包装
真空双层包装,符合SEMIE49.6